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断面観察・断面分析
![断面観察・断面分析 断面観察・断面分析](https://biz.seiko.co.jp/wp-content/uploads/cross-section-img01_1_1-1-scaled.jpg)
集束イオンビーム(FIB)により作製した断面をFE-SEMで高分解能観察を行う手法です。微小領域を高精度で断面加工・観察、および組成分析(SEM/EDS測定)を行うことが可能です。
また、連続して断面観察像を取得することで、3次元構造解析を行うことができます。
断面観察・断面分析
集束イオンビーム(FIB)により作製した断面をFE-SEMで高分解能観察を行う手法です。微小領域を高精度で断面加工・観察、および組成分析(SEM/EDS測定)を行うことが可能です。
また、連続して断面観察像を取得することで、3次元構造解析を行うことができます。