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断面観察・断面分析

断面観察・断面分析

集束イオンビーム（FIB）により作製した断面をFE-SEMで高分解能観察を行う手法です。微小領域を高精度で断面加工・観察、および組成分析（SEM/EDS測定）を行うことが可能です。
また、連続して断面観察像を取得することで、３次元構造解析を行うことができます。

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